고무와 플라스틱, 내시경의 광섬유처럼 열과 습기에 변형되는 물품은 저온에서 처리하는 산화에틸렌가스 멸균이나 저온 플라스마 멸균을 사용한다. 고압증기 멸균과 건열 멸균은 높은 온도를 쓰므로 이런 물품에 적용할 수 없다. 자비 소독과 자외선 소독은 아포를 없애지 못해 멸균이 아니라 소독에 해당한다. 산화에틸렌은 잔류 가스가 인체에 해로워 정해진 시간 동안 환기한 뒤 사용한다.
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